【知識名称】
　超精密な流量制御バルブを作る

【知識種別】
　定石・機構

【入力日】
　2000.11.24

【知識キーワード】
　・気体の流量を超精密に制御する
　・バルブ流路の断面積を調節する
　・隙間をねじで調節する
　・熱膨張で１μmを調整する
　・ピエゾ素子で分解能0.001μmを制御する
　・機能は機構に優先する
　・マイクロな構造を設計する

【知識レベル】
　3

【思考演算種別】
　作用・変換