【知識名称】 第3機能を加えて加工プロセスを見直す
【知識種別】 定石・機構
【入力日】 2000.11.21
【知識キーワード】 ・第3機能を加える ・プロセスのトレードオフを最適化する ・ドライエッチングで材料を削る ・パルスレーザで表面のみを加熱する ・ボッシュプロセスを設計する ・材料表面に交流スパッタリングで成膜する
【知識レベル】 3
【思考演算種別】 作用・挿入付加 時間・シェアリング