クリーンルーム内の清浄度が低下した。クリーンルーム内で使用している機械のボルト締結ざぐり部が上向きのため、ここに溜まったごみがルーム内に拡散したことが原因であった。

図　ボルトの締結ざぐり方向の変更

【設計のアドバイス】
　半導体関連の生産現場は、環境の清浄度を確保することが重要である。クリーンルームの内部で使用する機械は、機械自体からのごみの発生を抑えることや、ごみが１ヶ所に溜まらないようにすることが必要である。ボルトは極力下側から挿入する構造にするが、上向きにせざるを得ない場合は、カバーなどを付ける。