卒業論文で±0.1μｍの位置決め分解能を目指した精密送り装置を開発した。この動特性を静電容量型変位計を用いて測定したが、その装置が何と±0.8μｍも振動しているというデータがとれた。原因は、コンピュータのクロック信号がRS-232Cケーブルを介して変位計に伝わり、さらに変位出力に混入したためであった。測定部と本体の間およびセンサと支持台との間に絶縁体をいれ、プラスチックボルトで締結してノイズが伝わらないようにして解決した。

図　１．精密送り装置の動特性検査システム

図　２．静電容量変位計で測定された変位

【設計のアドバイス】
　不良原因の究明は、考えられる原因を順番に一つずつ潰して調べること。